Das Birck Nanotechnology Center an der Purdue University (USA) entwickelt eine vibrationsaktivierte MEMS-Komponente, die sich zum Filtern elektronischer Signale eignet. Die Resonatoren werden auf bestimmte Vibrationsmuster abgestimmt, die dafür sorgen, dass Signale mit bestimmten Frequenzen unterdrückt werden, während andere durchgelassen werden. Diese Bandpass-Funktion hat in Mobiltelefonen und anderen Funk-Produkten mittlerweile entscheidende Bedeutung, um Interferenzen zu minimieren und die Übertragungseffizienz zu maximieren. Die Entwicklung MEMS-basierter Resonatoren birgt das Potenzial, Bandpassfilter weiter zu miniaturisieren – verbunden mit einer Performance-Steigerung und einer Senkung des Stromverbrauchs. Auch eine Verbesserung der Trennschärfe wird erwartet. Diese SOI-Komponenten (Silicon on Insulator) könnten überdies robuster sein als traditionelle lineare Designs, sodass auch Filter mit Fertigungsfehlern einwandfrei arbeiten könnten.
Die vibrierenden mechanischen Strukturen enthalten ‚Balken‘ von etwa 10 µm Durchmesser, die wie winzige Federn miteinander verbunden werden können oder sich mit elektrischen Feldern und Magneten verbinden lassen. Die US-Forscher arbeiten mittlerweile an einem zweiten Prototyp und setzen ein Scanning-Laser-Doppler-Vibrometer ein, das die kaum wahrnehmbaren Bewegungen dieser winzigen Strukturen messen kann.
Abgesehen vom Einsatz in Mobiltelefonen dürften sich die Resonatoren auch in exotischeren Anwendungen als nützlich erweisen. So regen die Forscher beispielsweise ihre Verwendung in fortschrittlichen chemischen und biologischen Sensoren für medizinische und militärische Zwecke an. Eher langfristig und anspruchsvoll ist das Potenzial für eine neue Art mechanischer Speicherelemente, die Vibrationsmuster zur Informationsspeicherung nutzen.